Anonim
Gasanalyse in Mikromaschinen

"Ich kenne niemanden, der diese Art von Tests durchführen kann", sagte der Sandia-Wissenschaftler Steve Thornberg.

Das Ziel ist zu sehen, wie Füllgas nach beispielsweise einem Jahr der Verwendung kontaminiert wird.

"Wir wollen 100 Prozent Stickstoff [Atmosphäre] in unserem Gerät", sagte Danelle Tanner, eine Sandia-Physikerin für Zuverlässigkeit.

n

"Steves Gruppe gab uns eine wirklich gute Vorstellung davon, welche anderen Arten als Stickstoff in der Packung vorhanden waren", erklärte Tanner.

Das System kann Gase in einem Druckbereich von einer Atmosphäre (760 Torr) bis zu 0, 0001 Torr messen, und Thornberg strebt 0, 000001 Torr an, "um in der Lage zu sein, die Qualität des Vakuums zu messen", sagte das Labor.